Direkt zum Inhalt
Sensor mit Dünnschichttechnologie

Aufbau und Herstellungsprozess

Dünnschicht-DMS

Vom Substrat zur Sensorschicht: Erfahren Sie, wie Dünnschicht-DMS aufgebaut und mit höchster Präzision gefertigt werden.

Die Widerstände der Messbrücke werden auf das Metallsubstrat gesputtert:

Es entsteht eine dauerhafte Bindung auf atomarem Level.

Force sensor Gabelhorn with solder tabs

Schichtaufbau und Präzisionsfertigung im Detail

Was Dünnschicht-DMS besonders macht

Production process
  • Alle Hauptprozesse werden inhouse durchgeführt
  • Hoher Automatisierungsgrad

Die Widerstände der Messbrücke werden auf das Metallsubstrat gesputtert:
Es entsteht eine dauerhafte Bindung auf atomarem Level.

Produktionsprozess

Start ab blankem Metallsubstrat

Laserschneiden

Reinigen und Polieren

Sputtern der Isolationsschicht

Sputtern von Metallschichten

Strukturieren mittels Fotolithografie

Laserstrukturieren

Bedrahten und Schützen